一、項(xiàng)目基本情況
采購(gòu)項(xiàng)目編號(hào)：SZDL**********
采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)：微納加工中心工藝設(shè)備安裝配套系統(tǒng)
首次公告日期：****年**月**日
二、更正信息
1、 更正事項(xiàng)： “ 招標(biāo)文件 ” 的 第二章招標(biāo)項(xiàng)目需求 ：
五、具體技術(shù)要求 ：
| 序號(hào) | 貨物名稱(chēng) | 配置和技術(shù)規(guī)格要求 |
| ** | DRIE安裝配套系統(tǒng) | **.**. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供 D RIE安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、C4F8管道平面布置圖、CHF3管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖、SiF4管道平面布置圖。 |
| ** | RIE安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供 RIE安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖、CHF3管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖。 |
| ** | ICP介質(zhì)安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供 ICP介質(zhì) 安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖、C4F8管道平面布置圖、CHF3管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖、Cl2管道平面布置圖。 |
| ** | ICP金屬安裝配套系統(tǒng) | **.**. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供 ICP金屬 安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖、CHF3管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖、Cl2管道平面布置圖、BCl3管道平面布置圖。 |
| ** | ICPIII-V安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供ICP III-V安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、高純氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、CH4管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖、H2管道平面布置圖、Cl2管道平面布置圖、BCl3管道平面布置圖、SiCl4管道平面布置圖。 |
| ** | ICPCVD 安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供ICP III-V安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、高純氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、NH3管道平面布置圖、SiH4管道平面布置圖、CH4管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖、He管道平面布置圖、H2管道平面布置圖。 |
| ** | PECVD 安裝配套系統(tǒng) | **.5 ▲提供 PECVD 安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、高純氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、NH3管道平面布置圖、SiH4管道平面布置圖、N2O管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖。 |
| ** | 氣體管道安裝測(cè)試要求 | **.1 ★ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí)，須提供加蓋公司公章的氣體管道測(cè)試承諾函，承諾管道安裝完成后 按招標(biāo)人要求進(jìn)行五項(xiàng)測(cè)試，包括壓力測(cè)試、氦氣檢漏測(cè)試、顆粒測(cè)試、水分測(cè)試、氧分測(cè)試。測(cè)試項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)如下： 1) 壓力測(cè)試：強(qiáng)度試驗(yàn)壓力為設(shè)計(jì)壓力的1.**倍，持續(xù)**分鐘；氣密性試驗(yàn)壓力為設(shè)計(jì)壓力的1.**倍，**小時(shí)內(nèi)壓降≤1%。 2) 氦氣檢漏測(cè)試：使用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，精度≥1× ** -** mbar.L/s；漏率≤1×** -9 mbar·L/s。 3) 顆粒測(cè)試：顆粒數(shù)：≥0.1~0.3μm的顆?！?*顆粒/m3，連續(xù)三次達(dá)標(biāo)。? 4) 水分測(cè)試：測(cè)試氣源水分<1ppbv；水分增量<**ppbv，穩(wěn)定**分鐘以上。 5) 氧分測(cè)試：測(cè)試氣源氧分<1ppbv；氧分增量<**ppbv，穩(wěn)定**分鐘以上。 |
更正為：
五、具體技術(shù)要求 ：
| 序號(hào) | 貨物名稱(chēng) | 配置和技術(shù)規(guī)格要求 |
| ** | DRIE安裝配套系統(tǒng) | **.**. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供 D RIE安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、C 4 F 8 管道平面布置圖、CHF 3 管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖、SiF 4 管道平面布置圖。 |
| ** | RIE安裝配套系統(tǒng) | ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供 RIE安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖、CHF 3 管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖。 |
| ** | ICP介質(zhì)安裝配套系統(tǒng) | ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供 ICP介質(zhì) 安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖、C 4 F 8 管道平面布置圖、CHF 3 管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖、Cl 2 管道平面布置圖。 |
| ** | ICP金屬安裝配套系統(tǒng) | ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供 ICP金屬 安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖、CHF 3 管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖、Cl 2 管道平面布置圖、BCl 3 管道平面布置圖。 |
| ** | ICPIII-V安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供ICP III-V安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、高純氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、CH 4 管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖、H 2 管道平面布置圖、Cl 2 管道平面布置圖、BCl 3 管道平面布置圖、SiCl 4 管道平面布置圖。 |
| ** | ICPCVD 安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí) 提供ICP CVD 安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、高純氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、NH 3 管道平面布置圖、SiH 4 管道平面布置圖、CH 4 管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖、He管道平面布置圖、H 2 管道平面布置圖。 |
| ** | PECVD 安裝配套系統(tǒng) | **.5 ▲提供 PECVD 安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機(jī)械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、氧氣管道平面布置圖、高純氮?dú)夤艿榔矫娌贾脠D、NH 3 管道平面布置圖、SiH 4 管道平面布置圖、N 2 O管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖。 |
| ** | 氣體管道安裝測(cè)試要求 | **.1 ★ 投標(biāo)人在投標(biāo)時(shí)，須提供加蓋公司公章的氣體管道測(cè)試承諾函，承諾管道安裝完成后 按招標(biāo)人要求進(jìn)行五項(xiàng)測(cè)試，包括壓力測(cè)試、氦氣檢漏測(cè)試、顆粒測(cè)試、水分測(cè)試、氧分測(cè)試。測(cè)試項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)如下： 6) 壓力測(cè)試：強(qiáng)度試驗(yàn)壓力為設(shè)計(jì)壓力的1.**倍，持續(xù)**分鐘；氣密性試驗(yàn)壓力為設(shè)計(jì)壓力的1.**倍，**小時(shí)內(nèi)壓降≤1%。 7) 氦氣檢漏測(cè)試：使用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，精度≥1× ** -** mbar.L/s；漏率≤1×** -9 mbar·L/s。 8) 顆粒測(cè)試：顆粒數(shù)：0.1~0.3μm的顆?！?*顆/m3，連續(xù)三次達(dá)標(biāo)。? 9) 水分測(cè)試：測(cè)試氣源水分<1ppbv；水分增量<**ppbv，穩(wěn)定**分鐘以上。 **) 氧分測(cè)試：測(cè)試氣源氧分<1ppbv；氧分增量<**ppbv，穩(wěn)定**分鐘以上。 |
更正日期：**2 5 年 ** 月 ** 日
三、其他補(bǔ)充事宜
采購(gòu)文件中如有涉及上述內(nèi)容的作相應(yīng)調(diào)整，若本公告與原采購(gòu)文件內(nèi)容有不同之處，應(yīng)以本公告為準(zhǔn)。投標(biāo)人有義務(wù)在采購(gòu)活動(dòng)期間瀏覽相關(guān)網(wǎng)站，在網(wǎng)上公布的與本次采購(gòu)項(xiàng)目有關(guān)的信息視為已送達(dá)各投標(biāo)人。
四、凡對(duì)本次公告內(nèi)容提出詢(xún)問(wèn)，請(qǐng)按以下方式聯(lián)系。
1.采購(gòu)人信息
名稱(chēng)：深圳技術(shù)大學(xué)
地址：深圳市坪山區(qū)蘭田路****號(hào)
聯(lián)系方式：****-********
2.采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)
名稱(chēng)：深圳市合創(chuàng)建設(shè)工程顧問(wèn)有限公司
地址：深圳市福田區(qū)彩田南路中深花園A座****A室
聯(lián)系方式：****-********
3.項(xiàng)目聯(lián)系方式
項(xiàng)目聯(lián)系人： 余工
電話(huà)：****-******** 轉(zhuǎn)**8
深圳市合創(chuàng)建設(shè)工程顧問(wèn)有限公司
**2 5 年 ** 月 **日
