序號

貨物名稱

技術(shù)參數(shù)及要求

1

▲X射線光電子能譜儀（XPS）

1. 真空系統(tǒng)

1.1 分析室

1.1.1 真空腔體為厚度不小于 5mm 純μ金屬制造， 極限真空≤5.0×** ^-** mbar；

1.1.2 配置機械泵，渦輪分子泵（抽速**0升/秒）及鈦升華泵各一套。

1.2 進樣室

1.2.1 極限真空≤7.0×** ^-9 mbar；

1.2.2 配置渦輪分子泵和機械泵各一套；

1.3 樣品制備室

●1.3.1 極限真空≤7.0×** ^-9 mbar；

1.3.2 配置渦輪分子泵和機械泵各一套；

1.4 配備自動真空烘烤裝置；

1.5 真空監(jiān)測裝置：可實現(xiàn)大氣至1.0×** ^-** mbar范圍內(nèi)壓力連續(xù)測量，同時各真空腔室壓力實時顯示于系統(tǒng)軟件界面上。

2. 單色化X射線源

2.1 X射線源類型：微聚焦單色化Al K _α X射線源

●2.2 X射線源-源束斑規(guī)格（非成像尺寸）多檔可調(diào)，且可調(diào)檔位≥5檔；

●2.3 分析束斑規(guī)格（非成像尺寸）多檔可調(diào)，且可調(diào)檔位≥**檔；

2.4 最佳能量分辨率和靈敏度：以Ag 3d _5/2 峰為例，半高寬≤0.** eV時，計數(shù)率≥** kcps；

2.5 常規(guī)能量分辨率和靈敏度

2.5.1 以Ag 3d _5/2 峰為例，半高寬≤0.** eV時，計數(shù)率≥**0 kcps；

2.5.2 以Ag 3d _5/2 峰為例，半高寬≤0.** eV時，計數(shù)率≥**** kcps；

2.6 陽極靶靶點應(yīng)≥**個。

3. 能量分析器

3.1 **0°半球型能量分析器，半徑≥**0 mm；

3.2 能量掃描范圍：0 ~ **** eV；

3.3 通過能范圍：0 ~ **0 eV，連續(xù)可調(diào)；

●3.4 透鏡模式：配置磁透鏡模式和靜電模式。

4. 檢測器

4.1結(jié)構(gòu)組成：至少配置一塊可同時記錄光電子發(fā)射位置及其強度的檢測器；

4.2檢測器信號線性范圍：最高計數(shù)率≥** ⁷ cps；

4.3 檢測器物理通道數(shù)至少滿足：**8×**8；

●4.4具備成像功能，對邊緣銳利的刃口樣品線掃描的最佳空間分辨率≤5.5μm；

5. 荷電中和系統(tǒng)

5.1 荷電中和系統(tǒng)適用于所有不導(dǎo)電樣品及粗糙表面的精準(zhǔn)荷電中和，無需調(diào)節(jié)電壓、束流和氣壓等操作；

5.2 結(jié)構(gòu)組成

5.2.1 提供單電子源，中和電子能量不大于5 eV；

●5.2.2 提供超低能離子源，中和離子能量不大于5 eV；

●5.3 能量分辨率和靈敏度： 對PET絕緣樣品，在O-C=O結(jié)構(gòu)中C 1s峰能量分辨（半高寬）≤0.**eV時，C-C/C-H結(jié)構(gòu)中 C 1s峰的靈敏度≥** kcps。

6. 樣品控制和觀察系統(tǒng)

6.1 樣品臺

6.1.1 軸向：五軸樣品臺，即X、Y、Z方向移動，傾斜和旋轉(zhuǎn)，由計算機自動控制；

6.1.2 移動功能：X方向移動距離≥** mm， Y方向移動距離≥** mm， Z方向移動距離≥8 mm，移動精度≤1 μm，傾斜精度≤1°；

6.2 樣品觀察

●6.2.1 分析室：配置變焦CCD相機，通過軟件控制可在不同的放大倍率下實時觀察、精確定位分析位置和截取圖像；通過可變焦CCD相機和實時成像系統(tǒng)確定分析位置，軟件可自動確定最佳的分析高度；

6.2.2配置 CCD 相機，可觀察、精確定位分析位置和截取圖像；

6.3 進樣室和樣品制備室均配置可一次裝入并存儲3個樣品條的多樣品停放臺。

7. 深度剖析離子槍

7.1 離子源類型：配置單Ar原子和團簇Ar雙模式的復(fù)合離子源；

7.2 可使用氣體：Ar/Ar團簇，用于XPS深度剖析；

7.3 單Ar離子能量在0.5 ~ 4.0 keV之間可調(diào)；

7.4 團簇Ar離子能量在2.0 ~ 8.0 keV之間可調(diào)；

7.5 團簇Ar離子團簇數(shù)目在**0 ~ ****之間可調(diào)；

7.6 氣體控制：軟件控制，配套高精度進氣閥門和差分真空抽氣系統(tǒng)。

8. 離子散射譜（ISS）功能

8.1 離子源：可使用He氣作為分析離子源；

●8.2 能量分辨和靈敏度：使用1 keV的He離子入射到清潔的 Au 表面上，Au峰的能量分辨≤** eV時其靈敏度≥** kcps/nA。

9. 反射電子能量損失譜（REELS）功能

9.1 能量分辨率和靈敏度：對于干凈的銀樣品，能量分辨率為0.** eV 時，靈敏度應(yīng)≥**** kcps。

**. 紫外光電子能譜（UPS）功能

**.1 光源：全自動He紫外光源；

●**.2 最佳能量分辨率和靈敏度：對Ag費米邊，當(dāng)能量分辨率≤**0 meV時，靈敏度（Ag4d）≥1 Mcps；

**.3系統(tǒng)配有滿足絕緣樣品UPS分析時荷電中和需要的靜電模式中和源。

**. 角分辨 XPS 功能

**.1 配置步進馬達樣品托，最佳角度分辨≤1°；

**.2 內(nèi)置角分辨 XPS 數(shù)據(jù)處理功能，并能實現(xiàn)膜厚計算等功能。

**. 光纖導(dǎo)入模塊

**.1 該模塊需采用標(biāo)準(zhǔn)的 CF 接口，用于引入光纖；

**.2 預(yù)留光纖芯徑≥**0 μm，波長范圍**0~**** nm，最大功率≥1 W；

**.3 配備一套線性驅(qū)動和扭擺裝置，用于調(diào)節(jié)樣品上光斑位置及焦點；

**.4 配備氙燈光源，光譜能量連續(xù)輸出，能量范圍**0-**** nm。

**. 加熱制冷附件

**.1 分析室配備加熱制冷附件和控制軟件；

**.2 樣品托溫度調(diào)節(jié)范圍至少滿足：-**0℃~**5℃，自動控溫，溫度控制精度1℃。

**. 等離子體清洗裝置

**.1 功能要求：需能夠有效清除腔體內(nèi)附著的污染物；

**.2 安裝法蘭：nw**cf全金屬密封法蘭，帶未漏閥。

**. 譜儀控制和數(shù)據(jù)處理

**.1 譜儀控制

**.1.1 譜儀參數(shù)設(shè)置、分析部件等均可通過系統(tǒng)軟件控制；

**.1.2 系統(tǒng)軟件具備可視化操作界面，實現(xiàn)對真空泵、閥門、真空規(guī)、離子槍、中和槍及加熱冷卻等控制；

**.1.3 儀器控制終端1臺，用于操控儀器運行及數(shù)據(jù)收集，配置不低于8GB內(nèi)存/1TB硬盤/** 英寸顯示器；

**.2 數(shù)據(jù)處理

**.2.1 提供嵌入系統(tǒng)數(shù)據(jù)分析軟件中的完整XPS和ISS等數(shù)據(jù)庫，用戶可直接調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)譜圖數(shù)據(jù)與原始測試數(shù)據(jù)進行對比；

**.2.2 數(shù)據(jù)處理終端1臺，用于數(shù)據(jù)處理和存儲，配置不低于8GB內(nèi)存/1TB硬盤/** 英寸顯示器，其中顯示器不少于2個；

**.2.3 軟件終生升級，提供正版不受限全功能完整版數(shù)據(jù)處理軟件包≥2個，（費用含在報價中）。

**. 附件、備件及輔助設(shè)備

**.1 消耗品備件包3套（每套至少包括但不限于以下內(nèi)容：陽極靶套件× 1，單色陽極燈絲× 1，荷電中和器套件× 1，離子槍燈絲套件×2， REELS電子槍燈絲×1，鈦升華泵燈絲×6，機械泵油4升，循環(huán)水濾芯2個等），標(biāo)準(zhǔn)工具包1套，密封組件1套，減壓閥4個（材質(zhì)：黃銅×2，黃銅鎳電鍍×2）；

**.2 循環(huán)冷卻水系統(tǒng)：滿足陽極靶、渦輪分子泵和石英單色器冷卻的需要，恒溫范圍：8-**℃，循環(huán)泵流量：6.4 L/min；

**.3 不間斷電源系統(tǒng)： 功率不低于**kV不間斷電源1套，保證儀器待機時間≥6小時，工作時間≥1小時；

**.4 空氣/水分敏感樣品轉(zhuǎn)移倉2套，可完全放置于儀器主機的進樣倉內(nèi)，具有高真空密封組件；

**.5 電動粉末壓片機1套（壓力范圍 0-**噸）；

**.6 電子防潮柜1套（綜合控濕：**%-**% RH），電腦桌椅2套；

**.7 除濕機1臺（除濕量（L/D）≤**），彩色雙面激光打印機 1臺（打印速度：黑白和彩色均為 **頁/min；打印分辨率：最高可達****×**** DPI）；

**.8 設(shè)備安裝時必要的物理隔斷和線路。

**. 整體配置清單

**.1 XPS主機系統(tǒng) 1套

**.2 復(fù)合式離子刻蝕套件 1套

**.3 紫外光電子能譜套件 1套

**.4 分析室加熱冷卻套件 1套

**.5 空氣/水分敏感樣品轉(zhuǎn)移倉 2套

**.6 光纖導(dǎo)入系統(tǒng)（含氙燈光源） 1套

**.7 低溫等離子清洗系統(tǒng) 1套

**.8 循環(huán)冷卻水系統(tǒng) 1套

**.9 不間斷電源系統(tǒng) 1套

**.** 電動粉末壓片機 1套

**.** 電子防潮柜 1套

**.** 消耗品備件包 3套

**.** 除濕機 1臺

評分內(nèi)容

評分標(biāo)準(zhǔn)

分值范圍

技術(shù)參數(shù)及要求

根據(jù)投標(biāo)文件對招標(biāo)文件采購需求貨物需求表中的“●”指標(biāo)的響應(yīng)情況進行評分：

●指標(biāo)，每滿足一項得5分，共**項，共計**分。

注：（1）如某項標(biāo)識中包含多條技術(shù)參數(shù)或要求，則該項標(biāo)識所含內(nèi)容均需滿足或優(yōu)于招標(biāo)文件要求，否則不予認(rèn)可。

（2）以投標(biāo)響應(yīng)表和貨物需求中要求提供的證明材料作為評審依據(jù)。

0-**分

業(yè)績

自****年1月1日以來（以合同簽訂時間為準(zhǔn)），投標(biāo)人具有所投產(chǎn)品（同品牌可不同型號）的供貨安裝項目業(yè)績，每提供1個業(yè)績得 1 分，滿分5分。

注：投標(biāo)文件中提供業(yè)績合同及驗收合格證明材料掃描件，如合同及驗收合格證明材料中無法體現(xiàn)產(chǎn)品品牌、合同簽訂時間等評審因素，須另附業(yè)主單位蓋章的證明文件掃描件。

0-5分