一、項目編號：OITC-G********0（招標文件編號：OITC-G********0）
二、項目名稱：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所定制超均勻膜厚表面修整模塊加工服務采購項目
三、中標（成交）信息
供應商名稱：泱新（上海）科技有限公司
供應商地址：中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)富特北路**9號1幢2層2C室
中標（成交）金額：**9.******0（萬元）
四、主要標的信息
| 序號 | 供應商名稱 | 服務名稱 | 服務范圍 | 服務要求 | 服務時間 | 服務標準 |
| 1 | 泱新（上海）科技有限公司 | 定制超均勻膜厚表面修整模塊加工服務 | 定制加工超均勻膜厚表面修整模塊設備的工作原理基于離子束的物理濺射效應。高能離子束被精確聚焦并掃描到待修整的薄膜材料表面。離子束與材料表面發(fā)生相互作用，導致材料表面的原子或分子被濺射出來，從而實現(xiàn)材料的去除和修整。 | 通過調(diào)整離子束的能量、束流密度和掃描速度等參數(shù)，定制超均勻膜厚表面修整模塊設備可以實現(xiàn)對材料表面的納米級精確修整。 | 模塊驗收完成后**個月 | 可以精準修整二氧化硅（SiO2）,修整后膜厚片內(nèi)均勻性< 1nm（1σ），最大刻蝕速率≥3nm/min，修整后產(chǎn)品表面粗超度Ra<1nm（AFM測試） |
五、評審專家（單一來源采購人員）名單：
任宇紅 陳榮榮 馬榮榮 蔣建強 周民（用戶代表）
六、代理服務收費標準及金額：
本項目代理費收費標準：****號文
本項目代理費總金額：0.****** 萬元（人民幣）
七、公告期限
自本公告發(fā)布之日起1個工作日。
八、其它補充事宜
本項目采用綜合評分法，中標供應商的評審總得分為**.**分。
附件：招標文件
九、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名 稱：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
地址：上海市長寧路**5號
聯(lián)系方式：胡森 , **1-********
2.采購代理機構(gòu)信息
名 稱：東方國際招標有限責任公司
地 址：北京市海淀區(qū)丹棱街1號互聯(lián)網(wǎng)金融中心**層
聯(lián)系方式：楊帆 陳小舫 趙倩,**1-********/**0-********/**0-********
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：楊帆 陳小舫 趙倩
電 話： **1-********/**0-********/**0-********
